Schlitz-Düse

SONOSYS® Megasonic Systeme mit Schlitz-Düse / Frequenz 1 MHz

Weltweit einzigartig!

Der Transducer in der Megasonic Schlitz-Düse erzeugt eine Megasonic-Welle, die über ein fließendes Medium (z.B.: DI-Wasser) auf eine Substratoberfläche übertragen wird. Die Megasonic-Energie wird auf einen schmalen Streifen von 1,8 mm Breite und einer Länge von 44, 118, 405, 670 mm oder einer  kundenspezifischen Abmessung konzentriert.

Dieses Megasonic Schlitz-Düsen-System ermöglicht ein kontaktloses Reinigen empfindlichster Oberflächen mit stets partikelfreiem Reinigungsmedium.

Anwendung:
Reinigung von Substraten für Flat Panel Displays und Masken.