Transducer-Platten

Lösungen zum Einbau in Edelstahl- und Kuststoffbecken

Transducer-Platten aus Edelstahl für den Einbau in Prozessbecken. Diese können für den Einsatz in Kunststoffbecken wahlweise mit PFA beschichtet werden.

Neben den Standardausführungen für Substratgrößen von 4", 6", 8" oder 12" können die Abmessungen auch kundenspezifisch ausgelegt werden. Dabei wird der Ausschnitt für die Platte während der Konstruktion gemeinsam festgelegt und dann später eingeschweißt oder eingeschraubt. Das erlaubt eine platzsparende und passende Integration der Transducerplatte in das jeweilige Becken.

Anwendung:
Reinigung von Halbleiter-Wafern mit einer Größe von 100 mm, 150 mm, 200 mm und 300 mm in Single- oder Dual-Carrier.

Beispiel-Bilder:
Unten sehen Sie verschiedene Integrations-Beispiele und Becken. Fragen Sie hier an für ihre individuelle Beratung.