超音速单/双喷嘴

集中在要领-无接触清洁

在兆声波喷管中的换能器产生兆声波，它通过流动的液体（例如：DI水）传输到衬底的表面。兆电子能量集中在2或4毫米的小点上。
SONOSYS®兆声波喷管提供的频率为新的：600千赫 / 1 MHz / 2 MHz / 3 MHz / 4 MHz /5 MHz。

这种无槽兆声波喷管系统提供先进的非接触式清洗工艺。

应用
清洗单个晶片、掩模、LCD、衬底和微机电系统（MEMS），以及600 kHz的光学工业中更大的颗粒，从医疗设备和传感器。