Mikrosystemtechnik

Beim Entwicklungsprozess von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis werden mittels des Einsatzes von Megasonic  und die hierbei auftretende Mikroströmung die Partikel vollständig herausgespült und die Entwicklungszeiten um Faktor 7 verkürzt.

Für fragile Strukturen kann die Tiefe der Strukturen um Faktor 2 vergrößert werden.